Reaktiv magnetronförstoftning är en mogen teknik för att avsätta ett tunt sammansatt skikt på ett brett spektrum av substrat som ett toppskikt eller som ett mellanskikt i en flerskiktsbeläggning. Omfattningen av "tunn" sträcker sig från några nanometer upp till flera mikrometer.
Varför sprattlar en magnetron?
Magnetronförstoftning är kollisionsprocessen mellan infallande partiklar och mål … Magnetronförstoftning ökar plasmadensiteten genom att införa ett magnetfält på ytan av målkatoden och utnyttja begränsningarna av magnetfältet på de laddade partiklarna för att öka sputterhastigheten.
Vad menas med reaktiv sputtering?
Reaktiv sputtering är en process som gör det möjligt att avsätta föreningar genom att införa en reaktiv gas (typiskt syre eller kväve) i plasman som vanligtvis bildas av en inert gas som t.ex. argon (vanligast), xenon eller krypton.
Hur fungerar magnetronsputter?
Magnetronförstoftning är en deponeringsteknik som involverar en gasformig plasma som genereras och begränsas till ett utrymme som innehåller materialet som ska deponeras – "målet". … Dessa kollisioner orsakar en elektrostatisk repulsion som "slår av" elektroner från de sputtande gasatomerna, vilket orsakar jonisering.
Varför sputter RF?
RF eller Radio Frequency Sputtering är tekniken involverad i att växla den elektriska potentialen hos strömmen i vakuummiljön vid radiofrekvenser för att undvika att en laddning byggs upp på vissa typer av sputtrande målmaterial, vilket med tiden kan resultera i en båge in i plasman som spyr ut droppar …
